本產(chǎn)品是一種用于半導(dǎo)體晶圓制造過程中對聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化 的專用設(shè)備，烘箱溫度最高可達(dá)450°c
性能特點(diǎn)：
?真空度可達(dá)10 Pa
?箱體內(nèi)氧含量：≤20ppm，提供氧含量檢測接口
?曰本優(yōu)易控觸摸屏，升降溫斜率控制
?內(nèi)腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質(zhì)制作
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型號MODEL |
SXYJ-1 |
SXYJ-2 |
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內(nèi)箱尺寸（H*W*D) CM Interior dimensions |
20*20*40 |
30*30*60 |
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溫度范_ Temp.range |
RT+20°C ?450°C |
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溫度波動度 Temp.constancy |
士 0.5°C |
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真空度 |
lOpa |
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氧含量 |
≤20ppm |
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內(nèi)箱材質(zhì) Interior material |
SuS316 不銹鋼 Stainless Steel Plate |
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外箱材質(zhì) Exterior material |
鋼板靜電噴涂表面處理Baked Painting Steel |
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保溫材料 Insulatio material |
硅酸錦纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton |
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保護(hù)裝置 Safety devices |
聲光報(bào)警器超溫保護(hù)器Audible and visual alarm，Over Temp |
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功率（kva) |
9.0 |
12.0 |
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電源 |
AC380V±10%3φ 50HZ |
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*歡迎訂制不同規(guī)格尺寸的非標(biāo)準(zhǔn)烘箱
